Producten Beschrijving
Het hart van de cleanroomproductie,Halfgeleidervacuümpompenzijn met precisie-ontworpen om te voldoen aan de uitzonderlijk strenge eisen van de fabricage van micro-elektronica. Deze pompen zijn ontworpen om een perfect schone, stabiele en trillingsvrije-vacuümomgeving te leveren, wat absoluut cruciaal is voor processen waarbij zelfs microscopische verontreiniging kan leiden tot catastrofaal productfalen.productmaken universeel gebruik van olie-vrije en corrosie-bestendige ontwerpen, waarbij vaak gebruik wordt gemaakt van gespecialiseerde materialen die bestand zijn tegen agressieve procesgassen. Ze bereiken de noodzakelijke hoge vacuümniveaus, doorgaans tot 0,001 Pascal, met instelbare stroomsnelheden en zijn ontworpen om extreem lage trillingsprofielen te vertonen om schade aan delicate nanostructuren te voorkomen.
Hun modulaire ontwerpfilosofie maakt een eenvoudige integratie in complexe gereedschapssets mogelijk en vergemakkelijkt het onderhoud, wat cruciaal is voor het minimaliseren van kostbare gereedschapsuitval. De primaire toepassing vanHalfgeleidervacuümpompenis, zoals de naam al aangeeft, in de halfgeleiderindustrie, waar ze worden gebruikt in vrijwel elke stap van de chipproductie, van etsen en depositie tot ionenimplantatie en lithografie. Ze zijn ook van vitaal belang op aanverwante gebieden zoals elektronische verpakkingen en de productie van fotovoltaïsche cellen. Naast elektronica worden deze pompen ook gebruikt in rubber- en kunststofmachines voor de verwerking van hoog-zuivere halfgeleidermaterialen-. Op het gebied van voedselverpakkingen helpen ze bij de ontwikkeling van gespecialiseerde verpakkingen voor gevoelige elektronische componenten. Binnen speciale vacuümcoatingsystemenproductzijn essentieel voor het uitvoeren van coatingprocessen van halfgeleider{0}}kwaliteit die ultieme zuiverheid en betrouwbaarheid vereisen. Wanneer het succes van uw proces afhangt van een onberispelijk en onwrikbaar vacuüm,Halfgeleidervacuümpompenzijn de definitieve en vertrouwde oplossing.
|
Basisparameters |
typeNummer |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Pompsnelheid, m3/u |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Ultieme druk, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Rotatiesnelheid, omw/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Geluid Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Maximaal waterverbruik, l/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Inlaatdiameter, mm |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Diameter uitlaatpoort, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Motorvermogen, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Gewicht pompkop, kg |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Populaire tags: halfgeleidervacuümpompen, China halfgeleidervacuümpompen fabrikanten, leveranciers, fabriek